净化工程是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度、温度和湿度,使产品在良好的环境空间内生产制造。
气流速度是指净化工程室内的气流速度。由于室内污染程度主要靠空气的稀释来降低,所以这里主要用换气次数的概念,而不是直接用速度的概念。但对室内气流速度也有以下要求;
(1)送风口出口风速不宜过大。与纯空调房间相比,速度衰减越快,扩散角越大。
(2)吹过水平面的气流速度(如侧送时的回流速度)不宜过高,以免将表面颗粒吹回气流中造成再次污染。一般这个速度不应大于0.2m/s。
对于平行流净化工程房来说,横截面上的速度是一个非常重要的指标,因为它主要依靠气流活塞的挤压来消除污染。
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